Zu zeigen  "kleiner oder gleich" ist ja erst mal einfach.
Es ist f : M --- P(M) mit  x --->  {x}
offenbar injektiv, also die Mächtigkeit von M 
kleiner oder gleich der von P(M).
Aber es gibt keine surjektive Abb von M nach P(M),; denn:
Sei F eine solche, dann betracht die Teilmenge A von M
mit A = { x aus M | x nicht aus F(x) }
klar ?  F(x) ist ja eine Teilmenge von M, also kann x da drin sein
oder eben nicht.
Da F surjektiv ist, gibt es ein a aus M mit F(a) = A
Dann bleiben nur zwei Möglichkeiten:
1.  a aus A, dann ist das a so ein x, bei dem x aus F(x) gilt,
also ist a nicht aus A.  Widerspruch !
2. a nicht aus A, dann ist das a so ein x, bei dem x nicht aus F(x) gilt,
also muss in a in A sein.  Widerspruch !
Schöne Geschichte dazu:
Der Dorfbarbier (ein Mann) soll genau alle Männer im Dorf rasieren,
die sich nicht selbst rasieren. Was macht er mit sich selbst ?