Mit der Kettenregel folgt \(\left(e^{\sqrt x}\right)'=e^{\sqrt x}\cdot\frac{1}{2\sqrt x}\).
Daher brauchst du keine Substitution und kannst direkt partiell integrieren.
Man kann natürlich auch Substitution verwenden, wenn man diesen Zusammenhang nicht direkt sieht, aber dann braucht man immer noch partielle Integration. Daher meinte ich, dass Substitution nicht wirklich weiterhilft.